含氮类金刚石薄膜的紫外辐照研究

• 作者: 刘贵昂 王天民 谢二庆
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 氮离子注入 UV辐照 Raman与红外光谱 结构与特性
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 粒子束及加速器技术
• 页码范围: 372-376
• 页数: 5页
• 分类号: O483
• 字数: 3367字
• 语种: 中文

摘要

用射频等离子体方法在玻璃基底上制备的类金刚石(DLC)薄膜,采用离子注入法掺氮,并对掺氮DLC薄膜紫外(UV)辐照前后的性能变化进行了研究.研究结果表明:随氮离子注入剂量及UV辐照时间的增加,位于2 930cm-1附近的SP3C-H吸收峰明显变小,而位于1 580cm-1附近的SP2C-H吸收峰则明显增强,薄膜的电阻率明显呈下降趋势;随UV辐照时间的增加,位于1 078cm-1附近的Si-O-Si键数量及位于786cm-1附近的Si-C键数量明显增加.即氮离子注入和UV辐照明显改变了DLC薄膜的结构与特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王天民	北京航空航天大学理学院	140	1545	22.0	32.0
2	谢二庆	兰州大学物理系	84	371	11.0	14.0
3	刘贵昂	湛江师范学院物理系	11	61	4.0	7.0