新型复合硅微传感器的设计

• 作者: 张文栋 石云波
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 复合传感器 压力传感器 温度传感器
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 24-28
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2700字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.01.005

摘要

为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题,提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温度效应为基本原理的加速度、压力与温度多参数硅微复合传感器.介绍了复合传感器的工作原理、系统构成以及有限元分析仿真模型.给出了传感器的微结构照片及其性能参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋		27	265	7.0	16.0
2	石云波		5	45	4.0	5.0