ITO透明导电薄膜的制备及光电特性研究

• 作者: 张方辉 牟强 袁桃利 靳宝安 马颖
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: ITO薄膜 溶胶-凝胶法 方阻 透光率 液晶显示器
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 376-379
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2399字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2004.05.011

摘要

以氯化铟和氯化锡为前驱物,采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ITO薄膜.研究了掺锡浓度、热处理温度和热处理时间等工艺条件对ITO薄膜光电特性的影响.制备的ITO薄膜的方阻为300Ω/□,可见光平均透过率为80%,电阻率为4×10-3Ω·cm,其光电特性已达到了TN-LCD透明电极的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张方辉	陕西科技大学电气与电子工程学院	150	773	13.0	20.0
2	牟强	陕西科技大学电气与电子工程学院	34	294	9.0	16.0
3	靳宝安	陕西科技大学电气与电子工程学院	23	102	5.0	9.0
4	马颖	陕西科技大学电气与电子工程学院	23	235	7.0	15.0
5	袁桃利	陕西科技大学电气与电子工程学院	21	94	4.0	9.0