金刚石薄膜基体材料的选择及预处理工艺

• 作者: 方莉俐
• 来源期刊: 中原工学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 基体材料 CVD 预处理工艺
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 专题讨论
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3324字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6906.2004.04.013

摘要

论述了CVD金刚石薄膜基体材料的性质,从基体材料与金刚石的热膨胀系数的差异、晶格失配等方面,提出了选择金刚石薄膜基体材料的方法,并对硬质合金、铜、钢、硅等材料的基体预处理工艺作了综述.指出基体材料的选择和预处理工艺是优质金刚石薄膜制备的关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方莉俐	郑州大学物理系	33	141	8.0	10.0