硼浓度对沉积在刀具上的金刚石膜表面的影响

• 作者: 伍新明 屈青 汪建华 满卫东 王传新 王升高 马志斌
• 来源期刊: 武汉化工学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 热丝CVD YG6刀具 金刚石薄膜 渗硼
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1919字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2004.03.015

摘要

在热丝CVD装置中,以氢气、丙酮、硼酸三甲脂为原料,在YG6上制备了含硼金刚石薄膜.研究丙酮中硼含量对薄膜表面晶形及晶粒度的影响.结果表明,薄膜中渗入适量的硼不改变薄膜表面晶形,细化晶粒.有利于薄膜附着力的提高;而过高的硼含量恶化金刚石薄膜质量,降低薄膜附着力.