基底材料和温度对CVD金刚石沉积的影响

• 作者: 罗承萍 邱万奇 黄元盛
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石 形核密度
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1109字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2004.04.008

摘要

使用热丝CVD装置在钢渗铬层、三氧化二铝、YG8硬质合金基底上沉积了金刚石膜.结果表明,在700~900℃温度范围内,热稳定性好的基底材料有利于金刚石晶核的形成.硬质合金和三氧化二铝的热稳定性都比钢渗铬层好,在700~900 ℃能获得107cm-2以上的形核密度,而钢渗铬层超过800 ℃后,形核密度低于106 cm-2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱万奇	华南理工大学机械工程学院	67	339	9.0	15.0
2	罗承萍	华南理工大学机械工程学院	80	1286	19.0	33.0
3	黄元盛	韶关学院机电系	12	44	3.0	6.0