氮化硅薄膜的性能研究以及在多晶硅太阳电池上的应用

• 作者: 励旭东 徐征 李海玲 王文静 许颖 赵慧
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅 PECVD 多晶硅太阳电池
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 142-147
• 页数: 6页
• 分类号: TK51
• 字数: 3013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2004.02.004

摘要

利用椭圆偏振仪、准稳态光电导衰减法(QSSPCD)、X射线光电子能谱(XPS)、红外吸收光谱(IR)、反射谱等手段,研究了不同硅烷和氨气配比条件以及沉积温度对在多晶硅太阳电池上所沉积的氮化硅薄膜性能的影响,优化了沉积条件.通过比较沉积前后电池的各项性能,确认经氮化硅钝化后电池效率提高了40%以上,电池的短路电流也提高了30%以上,对于电池的开路电压提高也很大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐征		114	739	13.0	21.0
2	许颖		39	349	12.0	17.0
3	王文静		35	350	10.0	18.0
4	励旭东		15	191	8.0	13.0
5	赵慧		15	190	7.0	13.0
9	李海玲		11	132	7.0	11.0