柔性衬底Zn-Sn-O透明导电膜的特性

• 作者: 姜永超 孙玉林 徐进栋 盖凌云 黄树来
• 来源期刊: 莱阳农学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 有机衬底 Zn-Sn-O透明导电膜 射频磁控溅射 PACC 6855 8115C 7360
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 245-248
• 页数: 4页
• 分类号: O472
• 字数: 2443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-148X.2004.03.018

摘要

采用射频磁控溅射技术首次在有机薄膜衬底上低温制备出具有低电阻率和良好附着性的Zn-Sn-O透明导电膜.研究了有机衬底和玻璃衬底Zn-Sn-O薄膜的结构、表面形貌和组分.制备薄膜为非晶结构,有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的最低电阻率和可见光平均透过率分别为1.3×10-2Ω·cm和82%.薄膜中的氧偏离理想化学配比,存在着较多的氧空位,氧空位是薄膜中载流子的主要来源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	盖凌云	石油大学资源与信息学院	1	0	0.0	0.0