薄膜厚度宽带监控中评价函数的修正

• 作者: 尚小燕 曹春 韩军
• 来源期刊: 西安工业学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 宽光谱 薄膜厚度监控 评价函数 吸收 修正
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 光机电技术
• 页码范围: 316-318,352
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9965.2004.04.003

摘要

在镀膜过程中,采用宽光谱实时监控薄膜厚度的方法,评价函数的准确计算关系到薄膜厚度的最终监控结果.而薄膜材料的吸收会引起评价函数的失真.本文采用软件的方法,在镀下一层之前,对其评价函数中的理论透射比作以修正,消除已镀层吸收对其的影响,由此逐层进行直至结束.实验结果表明,薄膜厚度监控误差可以达到10-3以下,效果良好,完全可以满足实际需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩军	西安电子科技大学技术物理学院	49	247	9.0	13.0
3	尚小燕		22	83	6.0	8.0
6	曹春		1	2	1.0	1.0