低温制备透明导电膜SnO2:F及其结构和性质研究

• 作者: 冯良桓 夏庚培 张静全 李卫 武莉莉 蔡亚平 蔡伟 蔡道林 郑家贵 鄢强 雷智 黎兵
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2 透明导电薄膜 超声喷雾热解
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 新材料技术
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TB3
• 字数: 3028字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2004.01.011

摘要

SnO2:F透明导电薄膜是一种广泛用于显示技术和能量转换技术的重要材料.本文采用超声喷雾热解成膜技术,对沉积装置进行了改进,同时对反应液配方进行了优化,制备出透明SnO2∶F导电薄膜.用XRD、UV/Vis、SEM、原子力显微镜分析测试方法对沉积薄膜的结构、形貌和光学、电学性质进行了研究.结果表明,在360℃沉积温度下制备的SnO2∶F薄膜,其方块电阻为4.7Ω,(200)面择优取向明显,薄膜晶粒均匀,表面形貌有所改善,透明度有所提高.