抗振型移相干涉测量术的进展

• 作者: 何勇 吴栋 朱日宏 王青 陈磊 高志山
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 移相干涉仪 振动 抗振技术
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 59-64
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 4023字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2004.05.013

摘要

移相干涉术易受环境振动的干扰,影响高精度的测量目的.为了进行振动环境下在线光干涉测试,必须采用有效的抗振技术.从移相算法、干涉图采集、光学结构、振动探测与补偿等方面介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展.目前具有抗振功能的移相干涉测试技术日益受到重视.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱日宏	南京理工大学电光学院	129	1152	16.0	28.0
2	何勇	南京理工大学电光学院	131	768	13.0	20.0
3	高志山	南京理工大学电光学院	71	465	12.0	18.0
4	陈磊	南京理工大学电光学院	133	991	16.0	23.0
5	吴栋	南京理工大学电光学院	9	92	7.0	9.0
7	王青	南京理工大学电光学院	39	323	10.0	16.0