网络状氮化硼纳米棒的生长研究

• 作者: 卢晓敏 杨德仁 汪雷
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硼 PECVD 纳米棒
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 445-447
• 页数: 3页
• 分类号: TB383
• 字数: 1673字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.06.013

摘要

利用等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition,PECVD)法在单晶硅片上生长了氮化硼(BN)材料.扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)图,能量分散谱(Energy Dispersive Spectrum,EDS)和傅里叶红外光谱(Fourier transform infrared spectroscopy,FTIR)表明,在一定的生长条件下BN薄膜呈现由纳米棒搭构而成的网络状结构.纳米棒的直径在几十到几百纳米范围,长度为微米量级.对这种特殊形貌的生长机理进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德仁	浙江大学硅材料国家重点实验室	180	1513	20.0	31.0
2	汪雷	浙江大学硅材料国家重点实验室	41	646	13.0	25.0
3	卢晓敏	浙江大学硅材料国家重点实验室	2	13	1.0	2.0