热处理对氧化钨薄膜结构和电致变色性能的影响

• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化钨 薄膜 电致变色 热处理
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2306字
• 语种: 中文

摘要

电致变色(EC)材料在外加电压作用下能可逆的改变其光学性能.近年来由于其在光调节装置方面的应用潜力,引起了广大研究人员的兴趣.其中氧化钨是典型的电致变色材料.在本文中,电致变色氧化钨薄膜由电子束蒸发WO3粉末的方法沉积在ITO透明导电玻璃上,所得薄膜在空气气氛中经(250～550)℃,(1～4)h不同的热处理,处理后的薄膜用XRD观察其微观结构的变化,电致变色性能则由电化学方法测试.讨论了热处理温度变化对薄膜结构和电致变色性能的影响.