MOEMS静电旋转结构的Pull-in现象分析

• 作者: 万江文 岳宁煜
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: MOEMS 旋转驱动器 平板电极 摆动梳齿 吸合
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 28-31,38
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 2675字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.11.006

摘要

对MOEMS静电旋转结构的Pull-in(吸合)现象进行了理论分析,重点研究了平板电极旋转结构和摆动梳齿旋转结构.摆动梳齿旋转结构不出现Pull-in现象的原因是电容变化率为恒值;平板电极旋转结构在电极旋转过程中电容变化率持续增大是Pull-in现象出现的根本原因,设计平板电极旋转驱动器时,如果需要得到较大的稳态旋转角度,可以通过合适的结构参数减小电容变化率的变化速率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万江文		13	179	6.0	13.0
2	岳宁煜		1	11	1.0	1.0