绒面ZnO透明导电薄膜

• 作者: 孙建 朱锋 耿新华 薛玉明 赵颖
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 孪生对靶 直流磁控溅射 ZnO 透明导电薄膜 绒面
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 419-421,427
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1517字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.03.034

摘要

采用孪生ZnO(Al2O3:2%)对靶直流磁控溅射制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜(迁移率为5.56 cm2/V·s,载流子浓度为4.57×1020cm-3,电阻率为2.46×10-3Ω·cm,可见光范围(380～800nm)平均透过率大于85%).用酸腐蚀的方法,可以获得绒面效果,而反应气压对绒面效果没有影响,薄膜的电学特性没有变化,绒面对光散射作用增强,导致相对于平面ZnO薄膜的透过率要低一些(可见光范围平均透过率大于80%).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱锋	南开大学光电子所	13	154	7.0	12.0
2	耿新华	南开大学光电子所	62	364	13.0	17.0
3	孙建	南开大学光电子所	67	311	10.0	14.0
4	赵颖	南开大学光电子所	105	1195	16.0	33.0
5	薛玉明	南开大学光电子所	9	117	5.0	9.0