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偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作
作者:
吴一辉
张平
王淑荣
鞠挥
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
(111)硅片
闪耀光栅
体硅技术
湿法腐蚀
摘要:
硅光栅的制作可以利用湿法腐蚀体硅工艺.湿法腐蚀利用硅的各向异性,由硅的晶面形成光栅工作凹槽,利用湿法工艺可以制作在不同光谱波段内工作的闪耀光栅.设计了一种利用偏晶向(111)硅片制作闪耀光栅的方法,使用这种方法可以批量制作闪耀角度较小的光栅.利用扫描电子显微镜(SEM)进行了光栅表面形貌测试,试验结果表明,制作的硅光栅样片具有良好光学特性的反射表面和光栅槽形.硅闪耀光栅可以被用来制作微型光谱仪、滤光器等微型仪器或器件.
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(/年)
文献信息
篇名
偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作
来源期刊
光子学报
学科
工学
关键词
(111)硅片
闪耀光栅
体硅技术
湿法腐蚀
年,卷(期)
2004,(6)
所属期刊栏目
光学元件
研究方向
页码范围
755-757
页数
3页
分类号
TN305.7
字数
2363字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张平
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
180
2022
23.0
35.0
2
王淑荣
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
105
757
15.0
23.0
3
吴一辉
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
126
1121
18.0
27.0
4
鞠挥
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
9
256
4.0
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节点文献
(111)硅片
闪耀光栅
体硅技术
湿法腐蚀
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光子学报
主办单位:
中国光学学会
中国科学院西安光学精密机械研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-4213
CN:
61-1235/O4
开本:
大16开
出版地:
西安市长安区新型工业园信息大道17号47分箱
邮发代号:
52-105
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
8749
总下载数(次)
11
总被引数(次)
70454
相关基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:
National Basic Research Program of China
官方网址:
http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:
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