微悬臂梁非制冷红外探测器的研究

• 作者: 刘海涛 梁平治 陈永平
• 来源期刊: 红外
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂梁 红外 非制冷焦平面 光机械
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 1-5,42
• 页数: 6页
• 分类号: TN2
• 字数: 2742字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2004.06.001

摘要

本文介绍基于标准硅工艺的非制冷红外探测器的设计和建造.由于氮化硅和金的热膨胀系数有很大的差别,用这两种材料做成的双材料片在红外辐射下会发生热弯曲.用偏振光对弯曲程度进行检测,在CCD上呈现偏振光的干涉图案.它完全消除了由电路引入的噪声.目前能够实现的噪声等效温差(NEDT)在1K左右,但其理论值仅为几mK.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁平治	中国科学院上海技术物理研究所	28	252	9.0	15.0
2	刘海涛	中国科学院上海技术物理研究所	121	805	17.0	22.0
3	陈永平	中国科学院上海技术物理研究所	25	98	6.0	8.0