980 nm高功率垂直腔面发射激光器

• 作者: 刘云 宁永强 晏长岭 王立军 王青 秦莉 赵路民
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 半导体激光器 垂直腔面发射激光器 分子束外延 量子阱结构 氧化工艺
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 激光器件
• 页码范围: 142-144
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1259字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.02.004

摘要

研究了980 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)的结构设计和器件制作,实现了室温下的脉冲激射.在脉宽为50 μs,占空比为5∶1000的脉冲电流下,直径400 μm的器件输出光功率最高可达380 mW,发散角小于10°,光谱的半高全宽为0.8 nm.