小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用

• 作者: 冯亚林 李一博 栗大超 郝一龙 金翠云 靳世久
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS谐振器 特征提取 小波变换 模糊图像 图像增强 图像降噪
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 282-286
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 字数: 2726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.03.007

摘要

为测量微电机械系统(MEMS)谐振器的动态特性参数,根据MEMS谐振器运动图像的特点,将小波变换应用于MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中.基于模糊图像合成技术,利用小波变换对MEMS谐振器的模糊运动图像进行了增强及降噪处理,并结合传统的图像处理方法,提取MEMS谐振器的运动轨迹,最终获得了MEMS谐振器的特性参数,从而可为MEMS器件的设计提供重要参考.实验结果表明,利用小波变换的方法获得了更好的测量精度,测量重复性误差为100nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
2	郝一龙	北京大学微电子学研究院	46	716	15.0	25.0
3	靳世久	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	211	3002	28.0	42.0
4	李一博	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	69	717	16.0	25.0
5	金翠云	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	17	189	8.0	13.0
6	冯亚林	北京大学微电子学研究院	9	105	6.0	9.0