单平行四杆柔性铰链机构的输出位移和耦合误差分析

• 作者: 严拱标 周庆华 曹坚 杨世锡 沈剑英
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性铰链机构 单平行四杆机构 输出位移 耦合误差
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 27-28,116
• 页数: 3页
• 分类号: TP24
• 字数: 2263字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2004.03.009

摘要

本文建立了单平行四杆柔性铰链机构的输出位移和耦合误差的公式,并用有限元法分析其主要参数对输出位移和耦合误差的不同影响,指出耦合误差的存在对纳米级工作台的定位精度和分辨率有较大的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨世锡		155	2860	30.0	48.0
2	曹坚		29	118	5.0	9.0
3	严拱标		41	1323	18.0	36.0
4	周庆华		13	90	5.0	9.0
5	沈剑英		1	24	1.0	1.0