电铸制作低摩擦系数微电子机械模具的方法

• 作者: 刘刚 张鹏 田学红 田扬超
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 工学
• 关键词: 低摩擦系数 微电子机械 模具制作 电铸工艺
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 页码范围: 46
• 页数: 1页
• 分类号: TG241
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏		220	1605	21.0	32.0
2	刘刚		207	2369	24.0	40.0
3	田扬超		50	372	12.0	17.0
4	田学红		9	123	6.0	9.0