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摘要:
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多晶硅微构件拉伸破坏特性的测量
微电子机械系统
多晶硅
力学特性
拉伸破坏
太阳能级多晶硅制备进展
多晶硅
太阳能
制备方法
多晶硅微机械构件损伤的表面效应
微型机械
多晶硅
抗拉强度
表面粗糙度
表面分子自组装膜
多晶硅制备工艺及发展趋势
多晶硅
流化床法
冶金法
西门子法
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 多晶硅融化掺氮生长微氮硅单晶
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 多晶硅 微氮硅单晶 工艺过程 氩气保护
年,卷(期) 2004,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 50
页数 1页 分类号 TN325.2
字数 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
多晶硅
微氮硅单晶
工艺过程
氩气保护
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
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0
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