钛酸锶钡(BST)薄膜的XPS研究

• 作者: 杨传仁 符春林 陈宏伟
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡 薄膜 X-射线光电子能谱(XPS)
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 149-151
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.9
• 字数: 2049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2005.02.017

摘要

采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜,对BST/Pt/Ti/SiO2/Si结构进行了XPS深度分析.研究结果表明:制备的BST薄膜内部化学成分基本一致;氧缺位在薄膜体内比表面更严重;Pt底电极向薄膜、衬底之间扩散,BST/Pt及Pt/SiO2之间存在明显的界面过渡层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学微电子与固体电子学院	51	360	10.0	15.0
3	符春林	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	239	10.0	15.0