Pb(Zrx Ti1-x)O3成分梯度铁电薄膜的结构及性能

• 作者: 姚熹 李建康
• 来源期刊: 复合材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 成分梯度薄膜 锆钛酸铅 介电温谱 热释电系数
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TM221|TB332
• 字数: 3964字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3851.2005.06.009

摘要

采用Sol-Gel方法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zr,Ti)O3成分梯度薄膜.用俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的上梯度薄膜进行了成分深度分析,证实其成分梯度的存在.XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变.介电温谱测试表明,随着温度的升高,梯度薄膜出现一个铁电-铁电相变点和两个居里点,同时出现一定的频率弥散现象.不同偏压下电滞回线的测试表明,梯度薄膜表现出良好的铁电性质.热释电性能测试表明,梯度薄膜的热释电系数随着温度的升高逐渐增加,并且其热释电系数比每个单元的热释电系数大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	172	1611	18.0	30.0
2	李建康	苏州科技学院应用物理系	21	63	6.0	7.0