R.F.溅射Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜及其光学特性研究

• 作者: 何军 张柏顺 江娟 章天金
• 来源期刊: 湖北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: BST薄膜 射频溅射 光学特性 极值包络法
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学与电子技术
• 页码范围: 242-245
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2100字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2375.2005.03.012

摘要

用R.F.磁控溅射法在石英衬底上沉积Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜,应用XRD与SEM表征了BST薄膜的晶化行为及其表面形貌.在550 ℃衬底温度下沉积的薄膜,其表面光滑、晶粒大小分布均匀.应用双光束分光光度计,在200～900 nm的波长范围测量了薄膜的透射光谱,并根据"包络法"理论计算薄膜的折射指数.结果表明,随着辐射波长从650 nm减小到480 nm,薄膜的折射率从2.04增加到2.15;随着波长进一步降低,折射率急速上升,到420 nm时,折射率升至2.40,显示出典型的电子带间跃迁的色散曲线.由"包络法"和Tauc关系确定BST薄膜的光学能隙约为3.66 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章天金	湖北大学物理学和电子技术学院	82	321	11.0	14.0
2	张柏顺	湖北大学物理学和电子技术学院	24	152	7.0	11.0
3	江娟	湖北大学物理学和电子技术学院	32	130	7.0	10.0
4	何军	湖北大学物理学和电子技术学院	6	15	2.0	3.0