气离溅射离子镀制氮化钛

• 作者: 刘祥武 张守忠 文学春 杜建 田凯 罗蓉平 董骐 钟钢
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气离溅射 离子源 阳极层流 溅射 氮化钛 离子镀膜 中频 脉冲直流
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 工业研究与应用
• 页码范围: 69-74
• 页数: 6页
• 分类号: O484|TB4|TQ051.4
• 字数: 6042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.01.018

摘要

本文详细介绍了气体离子源增强磁控溅射(气离溅射)反应离子镀膜技术和系统配置.特别是首次提出空分气离溅射的新概念,实现了磁控溅射金属镀膜过程和气体离子轰击化学反应过程在真空室内空间上的分离,从而保证空分气离溅射反应离子镀膜过程的长时间稳定性、重复性和一致性.当磁控溅射源采用中频电源驱动、最新开发的气体离子源采用脉冲直流电源后,实现了最佳的设备组合,可镀制出高品质的TiN膜层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董骐		2	27	2.0	2.0
2	罗蓉平		1	10	1.0	1.0
3	张守忠		3	36	3.0	3.0
4	杜建		2	18	2.0	2.0
5	钟钢		1	10	1.0	1.0
6	田凯		2	27	2.0	2.0
7	文学春		1	10	1.0	1.0
8	刘祥武		1	10	1.0	1.0