折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析

• 作者: 张昱 潘武
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关 微镜 驱动电压 折叠弹簧 有限元分析
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 81-85
• 页数: 5页
• 分类号: TN253
• 字数: 2395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.z1.018

摘要

设计了带有折叠弹簧的静电驱动光开关水平扭转微镜,利用折叠弹簧代替直扭梁,增加扭梁的长度,有效降低微镜驱动电压.微型铰链结构使微镜保持在单一扭转工作模式下,其弯曲模式的影响可以忽略.利用MATLAB 7.0进行仿真分析,获得微镜驱动电压与扭梁长度的关系曲线.利用ANSYS 8.0获得了折叠弹簧式微镜结构的模态分析和谐响应分析结果,其工作模态频率约为1.77 kHz,远低于其他非工作模态频率.微镜结构的谐振频率约为1.8 kHz,能满足MEMS光开关对开关响应时间的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘武	重庆邮电学院微光机电系统研究所	63	272	8.0	13.0
2	张昱	重庆邮电学院微光机电系统研究所	4	48	3.0	4.0