孪晶对CVD自支撑金刚石薄膜微区织构的影响分析

• 作者: 冯惠平 朱宏喜 毛卫民
• 来源期刊: 中国体视学与图像分析
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 织构 电子背散射衍射 孪晶
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 论著
• 页码范围: 229-232
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.23|O722
• 字数: 3599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1482.2005.04.010

摘要

利用电子背散射衍射技术检测分析了CVD自支撑金刚石薄膜侧面微区织构和孪晶,计算了{100}、{110}、{111}、{122}、{447}、{148}晶面平行薄膜表面的织构在薄膜生长过程中各阶段所占的比例.研究结果表明,不稳定的沉积温度不利于{100}、{110}、{111}织构的形成,孪晶造成了{122}、{447}、{148}织构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛卫民	北京科技大学材料科学与工程学院	351	4505	35.0	51.0
2	冯惠平	北京科技大学材料科学与工程学院	37	535	12.0	22.0
3	朱宏喜	北京科技大学材料科学与工程学院	5	63	4.0	5.0