考虑微加工误差的微机械谐振器/滤波器结构鲁棒设计

• 作者: 孙庆鸿 孙蓓蓓 李普 杨华
• 来源期刊: 振动与冲击
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 谐振器/滤波器 梳状谐振器 结构鲁棒设计
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: O357|TN703
• 字数: 3646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3835.2005.01.010

摘要

基于结构鲁棒设计思想,针对两个振动自由度的静电梳驱动折叠梁微机械滤波器,在指定耦合梁宽度等于振子折叠梁宽度的前提下,推导出了两个固有频率对微梁宽度工艺误差的灵敏度模型,得到了对工艺误差不敏感的条件.并以矩形作为振子基本形状,提出了振子结构鲁棒设计方法,推导出了折叠梁宽度a0与补偿孔壁厚t、补偿孔数量N的重要关系.最后,给出了设计实例.得到的相关结论对其它类型的微机械滤波器的设计也有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙蓓蓓	东南大学机械工程系	59	465	11.0	17.0
2	孙庆鸿	东南大学机械工程系	177	2763	27.0	43.0
3	李普	东南大学机械工程系	47	540	15.0	21.0
4	杨华	东南大学机械工程系	9	93	6.0	9.0