美国新型硅基气体传感器问世

• 来源期刊: 硅铝化合物
• 学科: 工学
• 关键词: 美国 硅基气体传感器 敏感性 生产成本 技术参数
• 年，卷（期）: wjghhwtj,（2）
• 页码范围: 36-37
• 页数: 2页
• 分类号: TP212

摘要

一种基于多孔硅和独特金属化工艺的新型传感器问世，与现有技术相比，可提高敏感性，降低电力需求和成本，还可用于环境探测、食品和生物医学应用中的重要气体化合物。