一种新结构硅微机械压阻加速度计

• 作者: 宋朝晖 张鲲 李昕欣 王跃林 陈雪萌 黄晖 黄树森
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 加速度计 压阻 深反应离子刻蚀
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 500-503
• 页数: 4页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 2907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.03.015

摘要

设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计.器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形.比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率.微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压.力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号.5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994 Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍.加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺.