气相沉积h-BN陶瓷的应用

• 作者: 鲁燕萍
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波管 化学气相沉积 陶瓷
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 4-7,12
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 字数: 3222字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2005.05.002

摘要

论述了化学气相沉积h-BN陶瓷的主要性能及其在微波管中的应用优势,并对国内外化学气相沉积h-BN陶瓷的性能、微观结构以及在微波管中的应用情况进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲁燕萍		29	217	9.0	14.0