直线电机驱动的磁悬浮平台推力动态解耦控制

• 作者: 刘德君 翁秀华 郭庆鼎
• 来源期刊: 沈阳工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁悬浮平台 动态解耦控制 状态反馈 直线电机 复合控制
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 控制工程
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TM921.541
• 字数: 1857字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1646.2005.01.012

摘要

介绍一种应用于半导体光刻、微型机械、精密测量、超精密加工、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台,通过分析其数学模型的特点,采用多变量非线性的逆系统理论,对直线电动机驱动的磁悬浮平台这一多变量、非线性、强耦合的对象通过状态反馈进行推力动态解耦控制,使其成为三个独立的子系统,并用线性理论进行分析和设计.为了改善系统响应的快速性,采用复合控制方案.仿真实验结果表明,这种控制方案有较好的动态和静态特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭庆鼎	沈阳工业大学电气工程学院	248	2792	28.0	40.0
2	刘德君	沈阳工业大学电气工程学院	8	87	6.0	8.0
4	翁秀华	沈阳工业大学电气工程学院	9	99	6.0	9.0