类石墨碳膜的制备及其与类金刚石碳膜的区分

• 作者: 何家文 杜军
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石碳膜 类石墨碳膜 碳键结构
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 6-8,12
• 页数: 4页
• 分类号: O751|TG174.444
• 字数: 2188字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2005.04.002

摘要

类金刚石碳膜的碳键结构一般以sp3为主,用离子束辅助磁控溅射制备了以sp2为主的非晶碳膜,即类石墨碳膜.分析类石墨碳膜的成分、组织结构,并通过这些结果区分类石墨碳膜与类金刚石碳膜.采用卢瑟福背散射谱(RBS)、x射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)、x射线光电子谱(XPS)、四点探针法(FPM)分析了成分、组织结构及电阻率,结果表明:制备碳膜的晶体结构是非晶,碳键结构以sp2为主,电阻率在10-4～10-2 Ω·(m之间.证明这种非晶碳膜不同于类金刚石碳膜(sp3为主).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何家文	西安交通大学材料学院	81	1138	18.0	30.0
2	杜军	装甲兵工程学院装备再制造工程系	34	211	9.0	12.0