ZnO薄膜非线性光学特性的实验研究

• 作者: B.P.Zhang Y.Segawa 刘成有 宁丹
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 二次谐波振荡 金属有机化学气相沉积 二阶极化率 三阶极化率 沉积温度
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 265-271
• 页数: 7页
• 分类号: O484.41
• 字数: 3205字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.03.004

摘要

利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上生长一层高质量的ZnO薄膜.为了考察沉积温度对样品的非线性特性的影响,在200～500℃生长了一系列ZnO薄膜.用X射线衍射谱(XRD)及扫描电镜(SEM)对样品结构进行了评价.以Nd:YAG激光器输出的1.06μm的激光为基频光,对ZnO薄膜样品的二阶及三阶非线性光学特性进行了实验研究.实验发现,对于250℃沉积温度的样品有较强的非线性效应,实验测得的二阶非线性极化张量x(2)ZZZ=9.2 pm/V,三阶有效非线性系数x(3)=5.28×10-20m2/V2.