基于SMA的微夹持系统实验研究

• 作者: 巩娟 李庆祥 李玉和 石志松
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 微夹钳 形状记忆合金 微机电系统 微装配
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 数字设计与数字制造
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TD241|TB115
• 字数: 1301字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2005.06.006

摘要

微夹持技术是微器件装配的关键技术之一.采用柔性铰链机构设计了三自由度微夹持操作平台,并进行了有限元仿真模拟分析;利用形状记忆合金原理进行设计并研制了环状微夹钳,通过形状训练达到了双程形状记忆效应,并建立了微夹持力计算模型;对微夹持系统的运动精度进行了试验分析,结果表明:该系统沿X,Y,Z方向的位移分辨率达0.01μm,微夹持钳最大张开量达0.2 mm,基本满足了系统性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器与机械系	84	2180	20.0	45.0
2	李玉和	清华大学精密仪器与机械系	59	1638	16.0	40.0
3	巩娟	清华大学精密仪器与机械系	5	78	4.0	5.0
4	石志松	清华大学精密仪器与机械系	3	23	3.0	3.0