基于机器微视觉的微结构平面运动测试技术

• 作者: 冯亚林 栗大超 郝一龙 金翠云 靳世久
• 来源期刊: 天津大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 机器微视觉 动态测试 模糊图像 光学检测 亚像素
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与光电子工程
• 页码范围: 248-252
• 页数: 5页
• 分类号: TP751
• 字数: 3443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0493-2137.2005.03.013

摘要

为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结构的平面运动特性参数.实验结果表明,该系统测量误差小于100 nm,具有较好的测量重复性精度.与现有系统相比,该系统测量原理简单,实现方便,且能满足微结构的测试需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
2	郝一龙	北京大学微电子学研究院	46	716	15.0	25.0
3	靳世久	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	211	3002	28.0	42.0
4	金翠云	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	17	189	8.0	13.0
5	冯亚林	北京大学微电子学研究院	9	105	6.0	9.0