50/100GHz AWG型光学梳状滤波器的设计与制备

• 作者: 窦金锋 胡雄伟 韩培德
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: AWG 光学梳状滤波器 平面光波导 Si基SiO2
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1020-1023
• 页数: 4页
• 分类号: TN432
• 字数: 2474字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.05.032

摘要

以Si基SiO2平面光波导为基础,设计并制备了50/100GHz AWG型光学梳状滤波器.制备得到的AWG型光学梳状滤波器可以覆盖1520～1585nm的波长范围,共有160个信道.功率输出不均匀度＜0.5dB,插入损耗＜8dB,相邻通道的串扰＞13dB,在距离中心频率最远的信道,输出频率偏离ITU标准15GHz.分析了影响器件串扰和信道频率偏移的原因,并提出了相应的解决办法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡雄伟	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	41	134	6.0	9.0
2	韩培德	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	35	127	6.0	9.0
3	窦金锋	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	4	39	4.0	4.0