生物芯片高效点样微悬臂梁探针的微细加工

• 作者: 丁桂甫 张永华 李永海 许骏涛
• 来源期刊: 生物工程学报
• 学科: 生物学
• 关键词: 生物芯片 微阵列 Cy3标记链亲和素 微悬臂梁探针 微细加工技术
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 生物芯片
• 页码范围: 227-232
• 页数: 6页
• 分类号: Q81
• 字数: 6628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3061.2005.02.011

摘要

生物芯片技术是90年代初发展起来的一门新兴技术,将给21世纪生命科学和医学研究带来一场革命.其中生物芯片中的微阵列分析最为关键,尤其受到人们的关注和研究.微阵列形成主要由各种探针接触式点样而得的.微机电系统(MEMS)的兴起和发展为点样探针的制备提供了简单而有效的微细加工技术.介绍了基于MEMS技术的SiO2基微悬臂梁探针的设计和制备,并用这种探针进行Cy3标记链亲和素点样.结果表明这种微悬臂梁探针可以点样2～3μm的样点,并且一次取样可以点样至少3000个点,从而实现高价生物微阵列点样.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁桂甫	上海交通大学微纳米技术研究院	60	503	12.0	19.0
2	张永华	上海交通大学微纳米技术研究院	17	231	8.0	15.0
3	李永海	上海交通大学微纳米技术研究院	5	67	3.0	5.0