TDL-Ta60型单晶炉的研制

• 作者: 王庆 王建春 董淑梅 高利强
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 结构 直拉法 线圈升降
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体设备制造
• 页码范围: 71-74
• 页数: 4页
• 分类号: TF806
• 字数: 2578字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.01.017

摘要

介绍了TDL-Ta60型单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王庆		13	77	6.0	8.0
2	董淑梅		6	37	5.0	6.0
3	高利强		10	31	4.0	5.0
4	王建春		7	14	2.0	3.0