Mg掺杂ZnO薄膜的结构和光学性质

• 作者: 张柏顺 章天金 黄卫华
• 来源期刊: 湖北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 Mg掺杂 光学常数 带隙
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 物理学与电子技术
• 页码范围: 371-374
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2881字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2375.2006.04.013

摘要

采用磁控溅射方法在硅和石英衬底上制备了纯ZnO和Mg0.04Zn0.96O薄膜.用XRD和AFM表征薄膜的晶化行为和显微结构,用透射谱和光致发光谱分析薄膜的光学性质.分析结果显示:两种薄膜均为六角纤锌矿结构,且沿c轴取向,薄膜表面光滑致密,晶粒分布均匀;薄膜在可见光范围内具有较高的透过率,Mg掺杂后透射谱吸收边向高能侧移动,相应的薄膜的带隙宽度从3.28 eV升至3.36 eV;用包络法计算出薄膜的光学常数表明,Mg掺杂没有明显改变薄膜的折射率,但使消光系数明显增大;薄膜的光致发光谱分析也发现,掺入Mg使带边发射峰蓝移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章天金	湖北大学材料科学与工程学院	82	321	11.0	14.0
2	张柏顺	湖北大学材料科学与工程学院	24	152	7.0	11.0
3	黄卫华	湖北大学材料科学与工程学院	4	17	3.0	4.0