类金刚石膜的性质和制备及应用

• 作者: 姚海军 张敏 程发良
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜(DLC) 杂化轨道 性质 应用 制备 沉积
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 综述·专论
• 页码范围: 4-6,9
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4|TG174.444
• 字数: 3703字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2006.02.002

摘要

介绍了类金刚石膜的性能、制备方法以及应用.类金刚石膜(DLC)是由sp3键组态的碳和sp2键组态的碳混合组成的碳材料,由于具有与金刚石膜(DF)相似的性能--优异的光学特性、机械特性、电学特性和化学特性,同时现行制备方法(化学气相沉积,物理气相沉积等)相对容易实现,并且其产品已经应用到光学、医学、机械、电子等多个领域,因此引起人们极大兴趣.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张敏		1	55	1.0	1.0
2	程发良		1	55	1.0	1.0
3	姚海军		1	55	1.0	1.0