微机械电容式加速度计的结构设计分析

• 作者: 殷鸿 胡雪梅
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械电容式加速度计 结构设计 定齿偏置梳齿结构 折叠梁
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 技术与应用
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3425字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2006.08.004

摘要

微机械电容式加速度计的基本参数如固有频率、非线性度、分辨率等首先取决于其本身的结构,因此加速度计结构的设计选取至关重要.本文首先综合比较了微机械电容式加速度计的三种常见结构三明治摆式、翘翘板摆式和梳齿式的各自特点,指出了定齿偏置结构的梳齿式微机械加速度计的优点.并以该结构为分析对象,从加速度计的分辨率、量程、稳定性、灵敏度等性能分析比较了多种结构梁,提出了折叠梁的综合性能最好,最后通过分析计算出了折叠梁在检测方向的刚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡雪梅		66	325	11.0	15.0
2	殷鸿	西安电子科技大学机电工程学院	3	28	2.0	3.0