STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术

• 作者: 于欣蕾 卢文娟 宋会英 张玉林 郝慧娟 魏强
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束 扫描隧道显微镜 压电陶瓷 工作台 神经网络 遗传算法 PID
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 10-14
• 页数: 5页
• 分类号: TH742|TP273+.2
• 字数: 4153字
• 语种: 中文

摘要

为了提高扫描隧道显微镜微位移工作台的定位精度,提出了一种基于遗传算法的神经网络PID控制方案.微位移工作台以压电陶瓷为驱动器、柔性铰链为导向机构,在分析工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型.神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,能够在线调整网络加权值,实时改变PID控制器的系数,减小工作台的位移误差.利用遗传算法的全局搜索能力对BP网络的初始权值进行学习优化,有效消除了神经网络对初始权值敏感和容易局部收敛的缺陷,改善了控制器的控制效果.性能测试表明,12μm阶跃参考输入下的稳态误差从3.24%减小到2.55%,稳态时间从1.7 s缩短到1.1 s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋会英		6	31	4.0	5.0
2	张玉林		18	76	5.0	8.0
3	卢文娟		12	47	4.0	6.0
4	郝慧娟		8	44	4.0	6.0
5	魏强		4	35	3.0	4.0
9	于欣蕾		2	28	2.0	2.0