显微图像的光学薄膜缺陷密度统计

• 作者: 何长涛 王旭阳 赵汝进 陈建国 马孜
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 图像分割 遗传算法 二维最大熵 缺陷密度
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜制备与特性测试
• 页码范围: 118-123
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2279字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2006.04.024

摘要

薄膜表面缺陷密度统计是改进薄膜表面质量的重要依据.阐述了基于遗传算法的二维最大熵分割算法的原理及实现步骤.采用这种算法对薄膜缺陷图像进行分割,对分割后的图像进行了薄膜缺陷密度的测量.实验结果表明,这种方法对薄膜表面缺陷提取简单且易于测量,为分析缺陷原因提高薄膜质量起到重要的指导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马孜		27	98	4.0	9.0
2	赵汝进	西南科技大学信息工程学院	10	40	4.0	6.0
3	何长涛	四川大学电子信息学院	9	39	4.0	6.0
4	陈建国	四川大学电子信息学院	166	831	14.0	18.0
5	王旭阳	四川大学电子信息学院	5	40	4.0	5.0