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华中科技大学学报(自然科学版)期刊
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磁驱动MEMS光开关的设计、分析和仿真
磁驱动MEMS光开关的设计、分析和仿真
作者:
余洪斌
刘彦
李俊
陈海清
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光开关
静电驱动
磁驱动
永磁材料
软磁材料
摘要:
对比静电驱动与磁驱动,发现只有当驱动器的间距小于1.75 μm时,静电能密度才处于优势地位,而大于此间距后,磁驱动将表现出主导地位.在此基础上,为了设计出具有较大运动范围的光开关,提出了一种新的基于MEMS技术的磁驱动形式,采用溅射、激光镀覆等方法在衬底上制备磁性薄膜,并通过外加磁场实现开关动作.对采用永磁材料和软磁材料这两种情况下光开关的静态行为进行了分析和模拟.结果显示,尽管使用不同类型的磁性材料会对开关的响应产生影响,但其最大转角都可达到80°,远远超过静电驱动光开关所能实现的程度,同时它还避免了静电驱动中常见的结构"塌陷"现象.
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相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
磁驱动MEMS光开关的设计、分析和仿真
来源期刊
华中科技大学学报(自然科学版)
学科
工学
关键词
光开关
静电驱动
磁驱动
永磁材料
软磁材料
年,卷(期)
2006,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
18-20
页数
3页
分类号
TN256
字数
1709字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1671-4512.2006.04.006
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
陈海清
华中科技大学光电子科学与工程学院
95
682
14.0
18.0
2
刘彦
华中科技大学光电子科学与工程学院
27
184
8.0
12.0
3
李俊
华中科技大学光电子科学与工程学院
117
1116
16.0
30.0
4
余洪斌
华中科技大学光电子科学与工程学院
23
160
8.0
11.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
二级参考文献
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共引文献
(14)
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节点文献
引证文献
(4)
同被引文献
(6)
二级引证文献
(11)
1945(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1975(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2000(3)
参考文献(2)
二级参考文献(1)
2002(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2004(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2006(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2007(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2008(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
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引证文献(0)
二级引证文献(1)
2010(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2012(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2013(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2014(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2015(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2018(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
光开关
静电驱动
磁驱动
永磁材料
软磁材料
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
华中科技大学学报(自然科学版)
主办单位:
华中科技大学
出版周期:
月刊
ISSN:
1671-4512
CN:
42-1658/N
开本:
大16开
出版地:
武汉市珞喻路1037号
邮发代号:
38-9
创刊时间:
1973
语种:
chi
出版文献量(篇)
9146
总下载数(次)
26
总被引数(次)
88536
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