GaAs光电阴极制备过程中多信息量测试技术研究

• 作者: 常本康 王世允 王惠 邹继军 钱芸生
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs光电阴极 多信息量 压强 热脱附 光电流 现场总线
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 172-175
• 页数: 4页
• 分类号: TN223
• 字数: 3033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.03.003

摘要

研制了一套基于现场总线技术的GaAs光电阴极多信息量测试系统,该系统可在线测试和保存阴极制备过程中的大部分信息量,如激活系统的真空度、阴极光电流、光谱响应曲线、Cs源和O源电流等.实验测试了GaAs光电阴极加热净化过程中真空度随温度的变化曲线,分析发现,高温净化时有几个真空度下降较快的区域,为160℃～280℃、400℃～500℃、570℃～600℃,分别是由于AsO的脱附和水分的蒸发、As2O3分解和Ga2O脱附、GaAs和Ga2O3的分解所致,低温净化真空度在370℃后下降较快,这是由于吸附在阴极表面的Cs脱附速度加快造成的.实验还测试了激活过程中多种信息量的变化,发现了真空度和光电流随Cs源和O源电流的变化规律,这些大大方便了对激活工艺进行深入细致的分析研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱芸生	南京理工大学电子工程与光电技术学院	86	807	13.0	24.0
2	常本康	南京理工大学电子工程与光电技术学院	234	2020	19.0	30.0
3	邹继军	南京理工大学电子工程与光电技术学院	47	244	10.0	14.0
7	王惠	南京理工大学电子工程与光电技术学院	2	38	2.0	2.0
8	王世允	南京理工大学电子工程与光电技术学院	9	89	6.0	9.0