纠正套刻畸变

• 作者: 罗仁宇 舒斌
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描投影式光刻机 畸变 温度控制
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 设备改造与维护
• 页码范围: 67-69
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.01.014

摘要

介绍了调整扫描投影式光刻机畸变的几种方法.畸变是扫描投影式光刻机经常出现的问题,由此而带来的各机台间不能套刻,给生产造成相当的麻烦.简单分析问题的成因及调整方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	舒斌		4	7	1.0	2.0
2	罗仁宇		1	0	0.0	0.0