基于微型杠杆结构谐振式差分微加速度传感器的理论建模

• 作者: 王军波 陈健 陈德勇
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械电子系统 谐振式微加速度传感器 理论建模 有限元模拟 交叉轴串扰
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 118-121
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2006.02.008

摘要

为了提高灵敏度和消除交叉轴串扰,提出了一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器,分析了该结构差分检测和消除交叉轴干扰的原理.推导了该设计的理论模型,包括结构建模和轴向力作用下谐振微梁的固有频率偏移的推导,得到了待测加速度与输出固有频率偏移的关系.使用有限元模拟来证实理论模型.模拟结果说明,该设计的灵敏度每重力加速度g高于4 kHz.探讨了具体结构参数的选取与输出频差的关系,说明通过调整微型杠杆的尺寸可以进一步提高本设计的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈健	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	115	1360	17.0	34.0
2	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
3	王军波	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	41	304	10.0	16.0