热处理对离子束溅射Ni-Cr薄膜性能和结构的影响

• 作者: 周继承 晏建武 田莉
• 来源期刊: 中南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束溅射技术 纳米Ni-Cr合金薄膜 快速热处理工艺
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 材料·矿物·冶金·化学
• 页码范围: 837-840
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 2837字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7207.2006.05.002

摘要

采用低能离子束溅射技术制备Ni-Cr合金薄膜,并对Ni-Cr合金薄膜进行快速热处理.用小角度X射线衍射仪、扫描电镜、原子力显微镜、α-台阶仪、四探针仪等测量薄膜的结构、形貌、厚度及电子学特性.研究结果表明:采用低能离子束溅射技术结合快速热处理工艺可以制备性能优良的Ni-Cr合金薄膜,薄膜的厚度与溅射时间呈正比;经过350℃及以上温度快速热处理后,溅射非晶态Ni-Cr合金薄膜发生晶化;溅射态合金薄膜方块电阻与溅射时间呈反比;薄膜方块电阻随热处理温度的升高而降低,经450℃/600 s热处理后薄膜方块电阻不发生变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周继承	中南大学物理科学与技术学院	96	780	15.0	21.0
2	晏建武	中南大学物理科学与技术学院	29	169	8.0	11.0
6	田莉	中南大学物理科学与技术学院	6	49	3.0	6.0